隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)的飛速發(fā)展，芯片線寬已經(jīng)進(jìn)入納米級。與此同時，氣態(tài)分子污染物(AMC)也比顆粒污染物小了幾個數(shù)量級，逐漸取代顆粒污染物成為影響產(chǎn)業(yè)制程產(chǎn)率的關(guān)鍵因素之一。對微電子半導(dǎo)體制造業(yè)來說，氣態(tài)污染物會危害生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，造成半導(dǎo)體晶體表面的氧化和侵蝕，引起成品合格率降低。因此，微電子廠房內(nèi)分子級空氣污染的控制也越來越重要。

　　億天凈化公司提供電子半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境超潔凈解決方案，提供空氣質(zhì)量檢測、控制和監(jiān)測等服務(wù)。億天公司的化學(xué)過濾器、粉塵過濾器、AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測系統(tǒng)、電子半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境智能在線監(jiān)測系統(tǒng)、微粒子可視化系統(tǒng)、粒子計數(shù)器、AMC檢測柜、智能FFU等產(chǎn)品，高效節(jié)能降耗，為電子半導(dǎo)體生產(chǎn)提供全方位的潔凈、節(jié)能的空氣解決方案，提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品良率。