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潔凈室與相關受控環(huán)境的AMC控制——材料釋氣檢測服務

2025-04-25
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深圳市億天凈化技術有限公司

隨著科技的快速發(fā)展,污染源類型日益呈現(xiàn)出多元化、動態(tài)化的特征。在潔凈室環(huán)境中,氣態(tài)分子污染物(AMC)已成為繼空氣懸浮粒子之后又一個影響環(huán)境質(zhì)量的關鍵因素。潔凈室內(nèi)存在各種AMC的釋放源,其污染物釋氣對潔凈室及相關受控環(huán)境的質(zhì)量具有決定性影響。因此,控制潔凈室內(nèi)的AMC濃度,是提升產(chǎn)品良品率的關鍵。目前,針對這項污染物的檢測與評估工作正愈發(fā)受到關注。


材料釋氣檢測關注的核心點

根據(jù)國際標準ISO 14644-8和國家標準GB/T 36066,潔凈室中的空氣化學污染物可分為八類:酸、堿、有機物、生物毒素、可凝聚物、腐蝕物、摻雜物和氧化物。空氣化學污染物可能導致半導體晶圓表面的污染、腐蝕導線連接等問題,進而危及產(chǎn)品質(zhì)量。因此,控制微電子潔凈室內(nèi)的AMC濃度,是提升產(chǎn)品良品率的關鍵。

潔凈(微)環(huán)境用材料是潔凈室及相關受控環(huán)境中AMC的重要來源之一,應重點關注的材料包括環(huán)氧自流平、油漆、密封膠、涂料、膠粘劑、復合材料、潔凈耗材和化學過濾器等。材料釋氣檢測和評估是判斷材料和設備是否滿足潔凈室AMC控制要求的重要手段,是實現(xiàn)空氣化學污染控制的關鍵保障措施。


釋氣檢測的相關標準

1.JACA NO.34《潔凈室構成材料產(chǎn)生的分子污染物測量指南 潔凈室建筑/組合材料排放的空氣分子污染物評估標準》

2.GB/T 25915.15《潔凈室及相關受控環(huán)境第15部分:按氣態(tài)化學物濃度評定設備及材料的適用性》

3.ISO 16000-9《Indoor air Part 9:Determination of the emission of volatile organic compounds from samples of building products and furnishing-Emission test chamber method》

4.VDI 2083-17《Reinraumtechnik Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen Cleanroom technology Compatibility of materials with the required cleanliness》

5.ASTM E595《Standard Test Method forTotal Mass Loss and Collected Volatile Condensable Materials from Outgassing in a Vacuum Environment》

潔凈室與相關受控環(huán)境的AMC控制——材料釋氣檢測服務

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釋氣檢測的流程

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材料釋氣評估報告樣例

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潔凈室及相關受控環(huán)境潔凈環(huán)境與裝備測試中心大灣區(qū)實驗室長期致力于電子產(chǎn)品制程環(huán)境與工藝系統(tǒng)性能檢測與評價、潔凈(微)環(huán)境用設備和材料性能研究,根據(jù)用戶需求提供檢測、監(jiān)測、咨詢、認證服務,助力您的潔凈空間升級,守護每一個品質(zhì)細節(jié)。



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