芯片是所有電子工業(yè)的基礎(chǔ)，對人類社會影響極其巨大，隨著半導體技術(shù)不斷發(fā)展，芯片線寬尺寸不斷縮小，制程更復雜、更繁瑣，很多關(guān)鍵工藝（如光刻工藝）需要在特定的潔凈環(huán)境下進行。除了控制常規(guī)的懸浮顆粒污染物的濃度，還需對潔凈室內(nèi)直徑更小的氣態(tài)分子污染物（AMC）濃度進行嚴格控制。

為了控制AMC，生產(chǎn)芯片的潔凈廠房一般會在新風處理機組（MAU）和風機過濾單元（FFU）上安裝化學過濾器，對潔凈廠房內(nèi)特定區(qū)域進行相關(guān)空氣治理。

1.新風處理機組（MAU）安裝化學過濾器

潔凈室的空氣過濾系統(tǒng)有一個新風空氣處理機組，是初級空氣處理裝置，用來提供過濾的室外空氣。進入MAU的外部空氣是由外部來源(如包含潔凈室建筑物外的空氣)提供的，外部空氣通常通過一個重要的預過濾系統(tǒng)，然后空氣通過加熱、通風和空調(diào)（HVAC）設(shè)備進行調(diào)節(jié)。

新風處理機組是最直接和有效安裝化學過濾器的位置，以便控制來自凈化設(shè)施外的污染物，MAU裝置中的過濾系統(tǒng)不會影響設(shè)施內(nèi)的污染源，由于外部環(huán)境空氣僅通過這些過濾器一次，因此需要高AMC過濾效率，化學過濾器能有效去除室外空氣中的有毒有害氣體，從而保證進入室內(nèi)的空氣達到標準。

2.風機過濾單元（FFU）安裝化學過濾器

在微電子行業(yè)，由于對AMC的控制越來越嚴格，僅在空調(diào)箱中對 AMC控制很難達到要求。在FFU中安裝化學過濾器是一種創(chuàng)造局部超潔凈環(huán)境的方法，事實證明當化學過濾器與FFU一起使用時，它們特別有效。FFU一般用于過濾潔凈室內(nèi)循環(huán)空氣中的氣體污染物。

FFU化學過濾器一般安裝在FFU中HEPA/ULPA上游位置，用于有效去除AMC。根據(jù)潔凈室工作區(qū)存在的各種有害氣體，用于FFU的每個化學過濾器可以定制使用不同類型的濾料去除其相關(guān)有害氣體。

常用的化學過濾器

①平板型化學過濾器 

②W型化學過濾器

③箱式化學過濾器

④圓筒化學過濾模塊

⑤V型化學過濾模塊

產(chǎn)品特點

? 安裝方便，操作簡單；

? 高效過率，比傳統(tǒng)活性炭更廣譜針對性去除氣態(tài)分子污染物；

? 低阻力，無遞增壓損，節(jié)能環(huán)保；

? 無灰塵釋放，具有一定的粉塵過濾效果；

? 改善并提高室內(nèi)空氣品質(zhì)；

? 使用壽命長，通過化學反應法去除氣態(tài)污染物，氣態(tài)污染物與濾料發(fā)生化學反應，有效杜絕空氣環(huán)境的二次污染，永久去除氣態(tài)污染物。

化學過濾器可以有效控制AMC，億天凈化一直以提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務著稱，多種類型的化學過濾器通過合理的配置能達到去除污染物的最佳效果，保護敏感的電子半導體制程不受AMC污染物的影響，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量，提升產(chǎn)品良率。