過濾器是否泄漏，主要是為了避免空氣過濾器泄漏而影響到整個的生產。主要是檢測各點的懸浮粒子是否超出潔凈區要求的范圍，如果是則有泄漏現象，需堵漏或更換。這也是比較簡單準確的的操作方法。過濾器安裝或更換后，必須對過濾器的安裝連接處進行檢漏，以確保潔凈室的潔凈度符合要求。

　　塵埃粒子計數器檢測過濾器泄漏主要應用的是光散射原理，計數測定時利用光電倍增管接受塵埃粒子反射的光以測定其大小和數量，并加以分析累計及數字顯示。實驗前要求溫度控制在18—26℃ ;相對濕度控制在45—65%。室內測試人員不得多于2人。針對室內不同潔凈度房間而言，靜壓差≥5Pa，潔凈區與非潔凈區之問靜壓差≥10Pa;對工藝過程中產塵量大的房間與其他房間應保持相對負壓。

        檢查塵埃粒子計數器過濾器泄漏流程：

　　1、將塵埃粒子計數器用注射用水及75%酒精擦試消毒后再經紫外線照射30分鐘傳入潔凈區。

　　2、將塵埃粒子計數器水平位置放在桌上。測量塑料管端口接插在過濾器的接嘴上。

　　3、打開電源。儀器進行自檢、選項后，把測量塑料管從后面板上拔下。端口放置在需要測量的位置。

　　4、檢測時采樣頭離過濾器2—4cm，沿過濾器內邊框及中間緩慢掃描，每塊過濾器至少測試出5個點，觀察顯示數據。

　　測試完畢后，將采樣塑料管端口接到塵埃粒子計數器后面板上進行自檢。然后關閉電源。用塵埃粒子計數器測定百級潔凈區過濾器結果。通過以上測定就可以看出過濾器是否有泄漏現象。是否需進行堵漏或更換，過濾器修理或更換后必須重新進行測試。